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ST加熱套/柔性電加熱套/罐體加熱套

在半導體集成電路制造中，有許多加工工序在高溫的真空室內進行，在這種環境下，產生的廢料都是直接升華成氣相經真空管路排放。如果在排放過程中，溫度下降太多，這些氣體就可沉降聚集在管路或者各種閥門上，如果不及時**這些沉積物，就會增加晶片質量缺陷，降低真空系統效率。
針對這種情況我公司把本公司生產的隔熱、加熱產品進行整合來對管路及閥門進行溫度的維持。根據客戶的要求及管路形狀進行量身定做。
ST加熱套/柔性電加熱套/罐體加熱套主要由四層組成，分別為加熱層、內襯、保溫層、外保護層，我們通過在加熱層里面設置溫度傳感器（PT100）、熱敏保護裝置通過信號線連接至電路控制箱上的溫調器來控制加熱套的工作溫度。
ST加熱套/柔性電加熱套/罐體加熱套剖面圖

1）加熱層
技術介紹：加熱層主要由電熱絲通電產生熱量。
電熱絲技術指標：工作溫度范圍：-40℃～+1000℃
規格：f≤1mm
絕緣體：耐高溫無堿玻纖布
發熱材料：鎳合金
試驗電壓：220V
特長：電氣絕緣強度高具備良好的熱傳導性
其他：功率可根據要求設計生產
2）內襯
技術介紹：內襯層主要用于固定電熱絲并且起到良好的絕緣效果。
無堿玻璃纖維布技術指標：成分：無堿玻璃纖維
工作溫度：0℃～+550℃
厚度：0.43mm
特長：絕緣強度高，柔韌性好。
3）保溫層
技術介紹：主要作用于電熱絲和外表面的隔熱效果。
玻璃纖維針刺氈技術指標 厚度：3~25mm
寬度：1050~2000mm
密度：110~180kg/m2
耐熱溫度：600℃（熱收縮650℃）
導熱系數：0.042W/m.k（300℃平均值）
吸濕率：＜5%
4）外保護層
技術介紹：主要用于美觀隔熱，絕緣，耐酸堿性好。
特氟龍耐高溫布 厚度：0.05-0.6（mm）
長期耐溫：-70℃～+280℃
短期耐溫：+320℃
表機摩擦系數：0.05-0.1，介電常數小,絕緣性好
耐腐蝕性好，耐各種強酸，堿，鹽和有機溶劑等化學藥品的腐蝕
 

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